Dauerhafte siliciumnitridhaltige Hartbeschichtung

EP 50 2006 014 159.0 – C23C 26/00. AT 20.09.2006; OT 02.05.2007; PT 14.01.2015. Anm.: ESK Ceramics GmbH & Co. KG, 87437 Kempten, DE. Erf.: Engler Martin, Dr., 87439 Kempten, DE, Lesniak Christoph Dr., 87474 Buchenberg, DE, Uibel Krishna, 87435 Kempten, DE.