Amorphe harte Kohlenstoffbeschichtung

WP 60 2006 038 509.9 – C23C 14/06. AT 28.11.2006; OT 28.06.2007; PT 18.09.2013. Anm.: Kabushiki Kaisha Riken, Tokio/Tokyo, JP; Nippon ITF, Inc., Kyoto, JP. Erf.: Matsui, Takashi, Saitama 360-8522, JP, Ohara, Hisanori, Gunma 371-8515, JP, Moronuki, Masaki, Niigata 945-8555, JP, Utsumi, Yoshiharu, Kyoto 615-8686, JP.