Filmbildungsvorrichtung und Filmbildungsverfahren

WP 60 2005 040 952.1 – C23C 14/24. AT 29.03.2005; OT 22.02.2007; PT 21.08.2013. Anm.: Ohmi, Tadahiro, Sendai-shi, JP; Tokyo Electron Limited, Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Matsuoka, Takaaki, Tokyo Electron Limited, Tokyo 1078481, JP, Ohmi, Tadahiro, Sendai-shi, Miyagi 9800813, JP.