Vakuumeinrichtung zur Behandlung von auf Substratträgern angeordneten Substraten
GM 20 2012 100 123.3 – C23C 14/56. AT 13.01.2012; ET 31.01.2012; PT 22.03.2012. Anm.: VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH, 01257 Dresden, DE.
GM 20 2012 100 123.3 – C23C 14/56. AT 13.01.2012; ET 31.01.2012; PT 22.03.2012. Anm.: VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH, 01257 Dresden, DE.