Vorrichtungen und Verfahren zum Bilden von Metalloxiden aus Metall-Organo-Aminen und Metall-Organo-Oxiden

WP 603 46 791.1 – C23C 16/40. AT 27.08.2003; OT 11.03.2004; PT 24.09.2014. Anm.: Micron Technology, Inc., Boise, Id., US. Erf.: Westmoreland, Donald, L., Boise, ID 83704, US, Vaarstra, Brian, A., Nampa, ID 83686, US.