Vorrichtung zum Formen einer Dünnschicht und Verfahren zum Formen von Dünnschichten

WP 60 2004 043 182.6 – C23C 16/509. AT 23.02.2004; OT 02.02.2006; PT 28.08.2013. Anm.: Konica Minolta Holdings, Inc., Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Toda, Yoshirou, Hino-shi, Tokyo 191-8511, JP, Maeda, Kikuo, Hino-shi, Tokyo 191-8511, JP, Fukazawa, Koji, Hino-shi, Tokyo 191-8511, JP.

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