Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken_2

WP 503 15 331.1 - C23C 16/455. AT 09.05.2003; OT 04.12.2003; PT 02.09.2015. Anm.: KHS Corpoplast GmbH, 22145 Hamburg, DE. Erf.: Litzenberg, Michael, 21502 Geesthacht, DE; Lewin, Frank, 22889 Tangstedt, DE; Müller, Hartwig, 22952 Lütjensee, DE; Vogel, Klaus, 22885 Barsbüttel, DE; Arnold, Gregor, 55294 Bodenheim, DE; Behle, Stephan, 55239 Gau Odernheim, DE; Lüttringhaus-Henkel, Andreas, 64289 Darmstadt, DE; Bicker, Matthias, 55126 Mainz, DE; Klein, Jürgen, 55127 Mainz, DE; Walther, Marten, 55270 Engelstadt, DE.