Verfahren zum Beschichten von Oberflächen

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beschichten von Oberflächen (1), bei dem ein als Komponenten mindestens ein Trägergas und mindestens einen Precursor und/oder mindestens eine Beschichtungskomponente enthaltendes Gemenge direkt oder über eine Gasverteilungseinheit oder einen Brenner in einen Homogenisator geleitet wird oder das Gemenge dort aus den einzeln eingeleiteten Komponenten gebildet wird, wobei das Gemenge in einem durch zwei einander gegenüberliegende Führungsplatten oder Folgen von Führungsplattensegmenten und zwei einander gegenüberliegende Seitenführungsplatten begrenzten, sich in Richtung einer schlitzförmigen Ausströmöffnung verjüngenden Raum mittels dort entstehender Turbulenzen homogenisiert wird, woraufhin das so homogenisierte Gemenge aus der Ausströmöffnung in Richtung der zu beschichtenden Oberfläche ausgeströmt wird und dort die Beschichtungskomponente und/oder mindestens ein Reaktionsprodukt des Precursors angelagert wird oder werden.

PS 10 2006 043 542.7 – C23C 16/55. AT 12.09.2006; OT 27.03.2008; PT 16.05.2012. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Maik Staude, 07768 Kahla, DE, Andreas, Dr. Heft, 07545 Gera, DE, Gerhardt Krippl, 07646 Stadtroda, DE, Bernd, Dr. Grünler, 07937 Zeulenroda, DE, Arnd, Dr. Schimanski, 44329 Dortmund, DE, Hans-Jürgen, Prof. Dr. Tiller, 07749 Jena, DE.