Kathodische Lichtbogenablagerung

EP 60 2011 012 218.5 – C23C 14/06. AT 30.06.2011; OT 02.01.2013; PT 17.12.2014. Anm.: Lamina Technologies SA, Yverdon-les-Bains, CH. Erf.: Böhlmark, Johan, 11358 Stockholm, SE, Curtins, Hermann, 6340 Baar, CH.

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