Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht einer MYx-Formel durch Atomlagenabscheidung

EP 60 2015 000 299.7 - C23C 16/44. AT 23.01.2015; OT 29.07.2015; PT 14.09.2015. Anm.: Centre National de la Recherche Scientifique, Paris, FR; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Paris, FR; CPE Lyon Formation Continue et Recherche, Villeurbanne, FR; Université Claude Bernard - Lyon 1, Villeurbanne, FR. Erf.: Cadot, Stéphane, 69730 GENAY, FR Martin, François, 38000 GRENOBLE, FR Quadrelli, Elsje, 69003 LYON, FR Thieuleux, Chloé, 69100 VILLEURBANNE, FR

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