Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht einer MYx-Formel durch Atomlagenabscheidung

EP 60 2015 000 299.7 - C23C 16/44. AT 23.01.2015; OT 29.07.2015; PT 14.09.2015. Anm.: Centre National de la Recherche Scientifique, Paris, FR; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Paris, FR; CPE Lyon Formation Continue et Recherche, Villeurbanne, FR; Université Claude Bernard - Lyon 1, Villeurbanne, FR. Erf.: Cadot, Stéphane, 69730 GENAY, FR Martin, François, 38000 GRENOBLE, FR Quadrelli, Elsje, 69003 LYON, FR Thieuleux, Chloé, 69100 VILLEURBANNE, FR

Login

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen
und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.
Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

Links zu diesem Artikel

Werbepartner