Verfahren für thermisches Spritzverfahren

WP 50 2007 013 687.5 – C23C 4/02. AT 13.12.2007; OT 26.06.2008; PT 14.01.2015. Anm.: Forschungszentrum Jülich GmbH, 52428 Jülich, DE. Erf.: Vassen, Robert, 52134 Herzogenrath, DE, Stöver, Detlev, 52382 Niederzier, DE, Rauwald, Karl-Heinz, 52428 Jülich, DE.