Verfahren zur gleichzeitigen Optimierung verschiedener Schichteigenschaften

PS 10 2011 082 775.7 - C23C 14/54. AT 15.09.2011; OT 21.03.2013; PT 01.09.2016. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Linß, Volker, Dr., 01324 Dresden, DE