Verfahren zur Herstellung Indiumoxidhaltiger Schichten

WP 50 2013 002 139.4 - C23C 18/12. AT 04.06.2013; OT 19.12.2013; PT 09.03.2016. Anm.: Evonik Degussa GmbH, 45128 Essen, DE. Erf.: Steiger, Jürgen, 111 Tapei CityTaiwan, TW Frühling, Dennis, 45768 Marl, DE Merkulov, Alexey, 45665 Recklinghausen, DE Hoppe, Arne, 44623 Herne, DE

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