Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur eines Röntgen-Durchstrahlungsgitters für ein Bildaufnahmegerät

WP 60 2011 025 923.7 - C25D 5/02. AT 10.06.2011; OT 07.06.2012; PT 27.04.2016. Anm.: Canon Kabushiki Kaisha, Tokyo, JP. Erf.: Wang, Shinan, Tokyo 146-8501, JP Nakamura, Takashi, Tokyo 146-8501, JP Teshima, Takayuki, Tokyo 146-8501, JP Setomoto, Yutaka, Tokyo 146-8501, JP Watanabe, Shinichiro, Tokyo 146-8501, JP