Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle optischer Charakteristika von dünnen Filmen bei einem Abscheidungsverfahren

WP 60 2005 042 243.9 – C23C 14/34. AT 18.01.2005; OT 04.08.2005; PT 25.12.2013. Anm.: Deposition Sciences, Inc., Santa Rosa, US. Erf.: Boling, Norm, Santa Rosa, CA 95409, US, Sternbergh, James, Healdsburg, CA 95448, US, Krisl, Eric, M., Santa Rosa, CA 95409, US.