Vorrichtung und Verfahren zur Atomschichtablagerung

WP 60 2012 018 507.4 - C23C 16/458. AT 30.01.2012; OT 09.08.2012; PT 18.05.2016. Anm.: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, 's-Gravenhage, NL. Erf.: Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria, NL-2628 VK Delft, NL de Swart, Jozef Johannes, NL-2628 VK Delft, NL Wit, Robert Coenraad, NL-2628 VK Delft, NL