Poröser Metalldünnfilm und Kondensator

Ein poröser Metalldünnfilm, der aus Aluminium ausgebildet ist, weist eine Filmstruktur auf, in der Domänen mit einem durchschnittlichen Durchmesser von 200 nm oder mehr und 500 nm oder weniger, die durch eine Aggregation einer Mehrzahl von Körnern mit einem durchschnittlichen Korndurchmesser von 50 nm oder mehr und 160 nm oder weniger ausgebildet sind, bei einem durchschnittlichen Abstand von 5 nm oder mehr und 40 nm oder weniger getrennt verteilt sind, wobei die Fläche, die von den vorstehend beschriebenen Domänen eingenommen wird, in einem Querschnitt in jedweder Richtung des porösen Metalldünnfilms 60% oder mehr und 90% oder weniger beträgt.

PS 10 2009 004 007.2 – C23C 14/16. AT 07.01.2009; OT 16.07.2009; PT 29.01.2015. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe-shi, Hyogo, JP. Erf.: Mizuno, Masao, Kobe-shi, Hyogo, JP.