Verfahren zur Herstellung einer leitfähigen transparenten Oxidfolienschicht.

EP 60 2011 026 344.7 - C23C 14/08. AT 29.06.2011; OT 04.01.2012; PT 11.05.2016. Anm.: First Solar Malaysia SDN.BHD, AMAN, MY. Erf.: Feldman-Peabody, Scott Daniel, Arvada, CO Colorado 80004, US Black, Russell Weldon, Arvada, CO Colorado 80004, US

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