Verfahren zum Kaltgasspritzen

WP 50 2006 014 923.0 - C23C 24/04. AT 30.01.2006; OT 10.08.2006; PT 04.05.2016. Anm.: Siemens Aktiengesellschaft, 80333 München, DE. Erf.: Jensen, Jens Dahl, 14050 Berlin, DE Krüger, Ursus, 14089 Berlin, DE Ullrich, Raymond, 14621 Schönwalde, DE