Verfahren zur Ablagerung kristalliner Titannanopartikel und -folien

EP 60 2008 033 528.3 – C23C 20/04. AT 31.01.2008; OT 11.12.2013; PT 23.07.2014. Anm.: Imra America, Inc., Ann Arbor, Mich., US. Erf.: Che, Yong, Ann Arbor, MI Michigan 48105, US, Liu, Bing, Ann Arbor, MI Michigan 48108, US, Hu, Zhendong, Ann Arbor, MI Michigan 48105, US.