Oberflächenbearbeitungsvorrichtung

EP 60 2007 026 365.4 – C23C 16/455. AT 09.08.2007; OT 20.02.2008; PT 31.10.2012. Anm. Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited, Abingdon, GB. Erf.: Griffiths, Andrew John Vassilios, Bristol, BS9 2EA, GB, Cooke, Michael Joseph, Bristol, BS35 1JJ, GB, Thomas, Owain Peredur, Cardiff, CF23 8PP, GB.