Verfahren zum Herstellen einer Polymerschicht

PS 10 2011 001 642.2 – C23C 16/452. AT 29.03.2011; OT 04.10.2012; PT 31.12.2014. Anm.: Universität Bremen, 28359 Bremen, DE. Erf.: Richters, Jan-Peter, 28215 Bremen, DE, Voß, Tobias, Priv.-Doz. Dr., 28359 Bremen, DE.