Vakuumbeschichtungsvorrichtung vom Aufnahmetyp mit Maskformungsmitteln

WP 60 2007 027 008.1 – C23C 14/56. AT 26.07.2007; OT 04.06.2009; PT 28.11.2012. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, JP. Erf.: Fujii, Tomoharu, Chigasaki-shi, Kanagawa 253-8543, JP, Hayashi, Nobuhiro, Chigasaki-shi, Kanagawa 253-8543, JP, Nakatsuka, Atsushi, Chigasaki-shi, Kanagawa 253-8543, JP, Tada, Isao, Chigasaki-shi, Kanagawa 253-8543, JP.