Verfahren zum Bilden durchsichtiger leitfähiger Oxide

WP 60 2004 048 557.8 - C23C 14/08. AT 21.05.2004; OT 09.12.2004; PT 20.01.2016. Anm.: Demaray, LLC, Portola Valley, Calif., US. Erf.:Demaray, Richard, Ernest, Portola Valley, CA 94028, US Narasimhan, Mukundan, San Jose, CA 91536, US