Verfahren zur Herstellung und Behandlung einer optisch streuenden TCO-Schicht auf einem Substrat

PS 10 2011 005 760.9 - C23C 14/58. AT 18.03.2011; OT 20.09.2012; PT 04.02.2016. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Neidhardt, Jörg, Dr., 01097 Dresden, DE Linß, Volker, Dr., 01324 Dresden, DE