Transparenter leitfähiger Film, Verfahren zur Herstellung des Films und Sputtertarget zur Verwendung bei der Herstellung des Films

WP 60 2007 020 243.4 – C23C 14/34. AT 08.06.2007; OT 13.12.2007; PT 25.01.2012. Anm.: Asahi Glass Company, LTD., Tokio, JP. Erf.: Mitsui, Akira, Tokyo 100-8405, JP, Odaka, Hidefumi, Tokyo 100-8405, JP, Nakagama, Susumu, Takasago-shi, Hyogo 676-0074, JP.