Verfahren zum Herstellen dünner titanhaltiger Filme mittels Atomlagenabscheidung (Ald) unter Verwendung von auf Monocyclopentadienyl Titan-basierenden Vorläuferverbindungen

WP 60 2008 022 917.3 – C23C 16/455. AT 10.09.2008; OT 12.08.2010; PT 13.03.2013. Anm.: Sigma-Aldrich Co., St. Louis, US. Erf.: Odedra, Rajesh, Altrincham, Cheshire WA14 5NU, GB, Kingsley, Andrew, Newton, Chester CH2 2FA, GB, Song, Fuquan, Eastham, Wirral CH62 8EX, GB, Leese, Thomas, Alsager Stoke-On-Trent ST7 2HD, GB, Heys, Peter, Nicholas, Crewe, Cheshire CW2 6QE, GB, Davies, Hywel, Owen, Mold, Flintshire CH7 1PW, GB, Williams, Paul, Wirral, Merseyside CH62 2AY, GB.