Verfahren zur Herstellung eines Reflexionsschichtsystems

PS 10 2011 012 044.0 - C23C 14/58. AT 22.02.2011; OT 23.08.2012; PT 17.09.2015. Anm.: VON ARDENNE GmbH, 01324 Dresden, DE; Erf.: Köckert, Christoph, Dr., 01445 Radebeul, DE; Berendt, Markus, 01127 Dresden, DE; Neumann, Jens, 01277 Dresden, DE.