Au-haltige Schicht erhältlich mittels eines geladenen Teilchenstrahls
EP 60 2010 018 158.8 – C23C 18/14. AT 11.06.2010; OT 05.01.2011; PT 13.08.2014. Anm.: FEI COMPANY, Hillsboro, Oreg., US. Erf.: Mulders, Hans, 5632 SB, Eindhoven, NL.
EP 60 2010 018 158.8 – C23C 18/14. AT 11.06.2010; OT 05.01.2011; PT 13.08.2014. Anm.: FEI COMPANY, Hillsboro, Oreg., US. Erf.: Mulders, Hans, 5632 SB, Eindhoven, NL.