Verfahren zur Abscheidung von optisch transparenten Metallbeschichtungen

WP 60 2006 034 694.8 – C23C 14/18. AT 02.05.2006; OT 14.12.2006; PT 27.02.2013. Anm.: STMicroelectronics Srl, Agrate Brianza, IT. Erf.: Conoci, Sabrina, 95030 Tremestieri Etneo (Catania), IT, Petralia, Salvatore, 97015 Modica (Ragusa), IT.