Verfahren zur Herstellung eines Kupferfilms

WP 60 2005 036 962.7 – C23C 16/455. AT 25.02.2005; OT 09.09.2005; PT 14.11.2012. Anm. Tokyo Electron Ltd., Tokyo, JP. Erf. Kojima, Yasuhiko, Minato-ku, Tokyo 1078481, JP, Yoshii, Naoki, Minato-ku, Tokyo 1078481, JP.