Elektrode für die Entladungsoberflächenbehandlung, Entladungsoberflächenbehandlungsverfahren und Entladungsoberflächenbehandlungsvorrichtung

WP 60 2004 041 329.1 – C23C 26/00. AT 28.01.2004; OT 27.04.2006; PT 13.03.2013. Anm.: Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd., Tokio, JP; Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha, Tokyo, JP. Erf.: Watanabe, Mitsutoshi Ishikawajima-harima Heavy Ind. Co Ltd, Tokyo 100-8182, JP, Ochiai, Hiroyuki Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co, Ltd, Tokyo 100-8182, JP, Goto, Akihiro, c/o Mitsubishi Denki K.K., Tokyo 100-8310, JP, Akiyoshi, Masao, c/o Mitsubishi Denki K.K., Tokyo 100-8310, JP, Furukawa, Takashi Ishikawajima-Harima Heavy Ind. Co Ltd, Tokyo 100-8182, JP, Matsuo, Katsuhiro c/o Ryoden Koki Engineering Co., Ltd., Nagoya-shi, Aichi 462-0823, JP.