Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbedampfung unter Kontrolle der Beschichtungsrate und Messeinrichtung dafür

Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie Vorrichtungen zur Beschichtung von Substraten mittels Vakuumbedampfung. Das auf dem Substrat abzuscheidende Verdampfungsmaterial wird zur Bildung von zumindest teilweise ionisiertem Dampf verdampft und während der Bedampfung wird mittels einer Auffängerelektrode ein Strom von Ladungsträgern aus dem Dampf gemessen. Zur Ermittlung der Beschichtungsrate oder der Verdampfungsrate als Regelgröße auch für Langzeitbeschichtungen wird ein Ladungsträgerstrom in der Umgebung des Substrats gemessen, indem die Auffängerelektrode in der Substratumgebung angeordnet wird.

PS 10 2009 013 310.0 – C23C 14/54. AT 18.03.2009; OT 30.09.2010; PT 10.10.2013. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Faber, Jörg, Dr., 01809 Müglitztal, DE, Wenzel, Bernd-Dieter, 01909 Großharthau, DE, Barth, Sven, 01109 Dresden, DE, Reinhold, Ekkehart, 01465 Langebrück, DE, Kralapp, Uwe, 01458 Ottendorf-Okrilla, DE, Nobis, Reinhard, 01328 Dresden, DE.