Schichtabscheidevorrichtung und Schichtabscheideverfahren

WP 11 2008 000 544.3 – C23C 14/34. AT 25.02.2008; OT 31.12.2009; PT 28.02.2013. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, JP. Erf.: Nakamura, Hajime, Chigasaki-shi, JP, Arima, Hiroyasu, Chigasaki-shi, JP, Imamura, Shunichi, Chigasaki-shi, JP, Saito, Kazuya, Chigasaki-shi, JP.