Paralleler Plattenreaktor zur gleichmäßigen Dünnfilmablagerung mit reduzierter Werkzeugaufstellfläche

EP 60 2010 001 206.9 – C23C 16/455. AT 08.02.2010; OT 24.08.2011; PT 28.03.2012. Anm.: Roth & Rau AG, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE. Erf.: Mai, Joachim, 04603 Nobitz, DE, Buechel, Arthur, 9491 Ruggell, LI, Schulze, Thomas, 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE, Strahm, Benjamin, 1052 Le Mont-sur-Lausanne, CH, Wahli, Guillaume, 1024 Ecublens, CH.