Plasmaentladungsvorrichtung

EP 601 47 670.0 – C23C 16/509. AT 06.12.2001; OT 11.11.2010; PT 13.02.2013. Anm.: KONICA CORPORATION, Tokyo, JP. Erf.: Muramatsu, Yumi, Tokyo 191-8511, JP, Murakami, Takashi, Tokyo 191-8511, JP, Tsuji, Toshio, Tokyo 191-8511, JP, Kondo, Yoshikazu, Tokyo 191-8511, JP, Fukuda, Kazuhiro, Tokyo 191-8511, JP, Iwamaru, Shunichi, Tokyo 191-8511, JP.