Verfahren zum Betrieb einer gepulsten Arcverdampferquelle sowie eine Vakuumprozessanlage mit gepulster Arcverdampfungsquelle

WP 50 2006 011 439.9 – C23C 14/32. AT 01.03.2006; OT 28.09.2006; PT 16.05.2012. Anm.: Oerlikon Trading AG, Trübbach, Trübbach, CH. Erf.: Lendi, Daniel, CH-9472 Grabs, CH, Reiter, Andreas, A-6800 Feldkirch, AT, Ramm, Jürgen, CH-7304 Maienfeld, CH, Widrig, Beno, CH-7310 Bad Ragaz, CH, Derflinger, Volker, A-6800 Feldkirch, AT.

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