Verwendung einer Ätzlösung aufweisend Wasser, Salpetersäure und Schwefelsäure und Ätzverfahren

Beschreibung: Ätzlösung, aufweisend Wasser, Salpetersäure, Flusssäure und Schwefelsäure, welche 15 bis 40 Gewichtsprozent Salpetersäure, 10 bis 41 Gewichtsprozent Schwefelsäure und 0,8 bis 2,0 Gewichtsprozent Flusssäure enthält, Verwendung dieser Ätzlösung zum Ätzen von Silizium sowie Ätzverfahren für Siliziumscheiben.

PS 10 2007 004 060.3 – C23F 1/24. AT 22.01.2007; OT 24.07.2008; PT 21.03.2013. Anm.: GP Solar GmbH, 78467 Konstanz, DE. Erf.: Melnyk, Ihor, Dr., 78465 Konstanz, DE, Fath, Peter, Dr., 78464 Konstanz, DE.