Verfahren zur Herstellung von gegenüber Wasser reaktivem Al-Film und Bauelemente für Filmabscheidungskammern

WP 60 2009 029 554.3 – C23C 4/06. AT 27.04.2009; OT 05.11.2009; PT 25.02.2015. Anm.: Ulvac, Inc., Chigasaki-shi, Kanagawa, JP. Erf.: Kadowaki, Yutaka, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP, Lim, Keng Weng, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP, Mushiake, Katsuhiko, Sammu-shi Chiba 289-1297, JP, Saitou, Tomoko, Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543, JP.