Chemisches Dampfabscheide-Verfahren unter Atmosphärendruck zur Herstellung einer N-halbleitenden Metallsulfid-Dünnschicht

WP 50 2009 002 852.0 – C23C 16/08. AT 14.03.2009; OT 08.10.2009; PT 22.02.2012. Anm.: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, 14109 Berlin, DE. Erf.: Allsop, Nicholas, 10243 Berlin, DE, Fischer, Christian-Herbert, 14169 Berlin, DE, Gledhill, Sophie, 10551 Berlin, DE, Lux-Steiner, Martha Christina, 14163 Berlin, DE.