Behandlungsverfahren einer oxidierten Übergangsmetall-Nitrid-Schicht

EP 60 2012 003 218.9 – C23C 14/06. AT 29.02.2012; OT 12.09.2012; PT 01.10.2014. Anm.: Altis Semiconductor, Corbeil Essonnes, FR. Erf.: Aube, Michel, 77310 PONTHIERRY, FR, De Person, Pierre, 94230 Cachan, FR.

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