Verfahren zur Herstellung und Anordnung von Barriereschichten auf einem Polymersubstrat
EP 603 40 039.6 – C23C 14/08. AT 10.03.2003; OT 13.10.2004; PT 22.02.2012. Anm.: OSRAM Opto Semiconductors GmbH, 93055 Regensburg, DE. Erf.: Pätzold, Ralph, 91154 Roth, DE, Gieres, Günter, 91077 Kleinsendelbach, DE, Henseler, Debora, 91052 Erlangen, DE, Heuser, Karsten, 91056 Erlangen, DE, Wittmann, Georg, 91074 Herzogenaurach, DE.