Wässrige Zusammensetzung zur Ätzung von Kupfer und Kupferlegierungen

EP 60 2011 006 022.8 – C23F 1/18. AT 21.11.2011; OT 22.05.2013; PT 09.04.2014. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Kloppisch, Mirko, 10245 Berlin, DE, Exner, Anika, 10365 Berlin, DE, Thoms, Martin, 13156 Berlin, DE, Lützow, Dr. Norbert, 12205 Berlin, DE.