Verfahren zum Aufbringen einer Widerstandsschicht in Form eines Edelmetall-Dünnfilms auf ein Substrat und Verfahren zur Herstellung eines Temperaturmessfühlers
Beschreibung: Bei einem Verfahren zum Aufbringen eines Edelmetall-Dünnfilms auf ein Substrat wird zunächst eine leitfähige Grundbeschichtung aus einem Edelmetall auf einem Substrat aufgebracht. Diese Grundbeschichtung wird anschließend auf eine erwünschte Gesamtdicke des Dünnfilms durch galvanisches Abscheiden des Edelmetalls auf der Grundbeschichtung verstärkt. Anschließend erfolgt eine Temperaturbehandlung des erzeugten Dünnfilms.
PS 10 2009 033 930.2 – C25D 5/50. AT 20.07.2009; OT 03.02.2011; PT 18.07.2013. Anm.: Bernitz, György, 90441 Nürnberg, DE; Zitzmann, Heinrich, Dr., 91207 Lauf, DE. Erf.: Erfinder ist Anmelder.