Verfahren zum Bilden einer Schicht auf einem Substrat

PS 103 93 678.5 – C23C 14/28. AT 07.11.2003; OT 21.05.2004; PT 21.11.2013. Anm.: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tokio/Tokyo, JP. Erf.: Sakai, Shigeki, Ibraki, JP.