Verfahren zur Herstellung von flächigen Größen- oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen

PS 100 15 574.6 – C23C 18/08. AT 12.03.2008; OT 16.03.2011; PT 29.02.2012. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Lohmüller, Theobald, 90473 Nürnberg, DE, Arnold, Marco, 69251 Gaiberg, DE, Spatz, Joachim P., 70569 Stuttgart, DE.