Verfahren zur Herstellung eines Oxid-Sputtertargets mit einer ersten und einer zweiten Phase

WP 60 2009 005 542.9 – C23C 14/34. AT 07.07.2009; OT 14.01.2010; PT 22.02.2012. Anm.: Bekaert Advanced Coatings N.V., Deinze, BE. Erf.: Delrue, Hilde, B-7750 Mont-de-L'Enclus, BE, Van Holsbeke, Johnny, B-7890 Ellezelles, BE, Carvalho, Nuno, Jorge, Marcolino, B-9051 Sint-Denijs-Westrem, BE, DE Bosscher, Wilmert, B-9031 Drongen, BE.