Atmosphärendruckplasmaverfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Partikel und von Beschichtungen

WP 50 2010 013 044.6 - C23C 14/32. AT 06.10.2010; OT 14.04.2011; PT 11.01.2017. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE; Plasmatreat GmbH, 33803 Steinhagen, DE. Erf.: Ihde, Jörg, 28865 Lilienthal, DE Wilken, Ralph, 26180 Rastede, DE Degenhardt, Jost, 28201 Bremen, DE Knospe, Alexander, 33803 Steinhagen, DE Buske, Christian, 33803 Steinhagen, DE