1-Wässrige Zusammensetzung zur Ätzung von Kupfer und Kupferlegierungen
EP 60 2013 001 135.4 – C23C 22/52. AT 15.01.2013; OT 16.07.2014; PT 11.03.2015. Anm.: Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin, DE. Erf.: Tews, Dr. Dirk, 10318 Berlin, D, Lützow, Dr. Norbert, 12205 Berlin, DE, Schmidt, Gabriela, 10365 Berlin, DE.