Ätzlösung und Ätzverfahren für eine mehrschichtige Dünnschicht mit einer Kupferschicht und darin enthaltene Molybdänschicht

WP 60 2011 015 266.1 – C23F 1/18. AT 15.02.2011; OT 18.08.2011; PT 01.04.2015. Anm.: Nicht genannt. Erf.: Adaniya, Tomoyuki, Tokyo 125-0051, JP, Maruyama, Taketo, Tokyo 100-8324, JP, Narita, Kazuyo, Tokyo 125-0051, JP, Okabe, Satoshi, Tokyo 125-0051, JP, Matsubara, Masahide, Tokyo 125-0051, JP.

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